Time: 2020-10-17  韦克威科技

GMR 巨磁阻电桥传感器-韦克威-体积更小,精度更高

典型的GMR磁性传感器(也称为磁强计)的显微照片如下所示:

GMR磁性传感器

自旋电子学传感器电桥

     金属合金薄膜是真空沉积在硅片上的。其他制造步骤包括热退火、磁退火和光刻。GMR电阻通常用光刻技术制成蛇形电阻。蛇形结构使单位面积的阻力最大化。当传感器采样时,电阻最大化可使功耗最小化。

atstone在GMR中配置了四个典型的电阻。电桥结构提供了一个易于使用的电压输出,与施加的磁场成比例,但对GMR器件绝对电阻的任何变化不敏感。

     其中两个电阻器是感应电阻器;另外两个是基准电阻器。参考电阻由一个测量值为0.0004英寸的镍铁磁屏蔽覆盖。厚。作为对外部磁场的响应,暴露在外的传感电阻器的电阻减小,而参考电阻器保持不变,从而在电桥输出端产生电压。

    屏蔽也可以作为感测电阻的磁通集中器,提高器件的灵敏度并提高其空间专一性。由于自旋电子传感器的小几何结构,磁通集中特别有效,可以将灵敏度提高到100倍。

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李工:18576410868



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